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容器組件
平麵平晶測量平麵性的原理依據
日期:2025-03-27 20:09
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摘要:
平麵平晶測量平麵性的原理依據
測量時,先使平晶邊緣輕輕地與被測表麵接觸,逐漸使整個表麵接觸,再調整平晶使與被測表麵之間保持一微小夾角,直到出現清晰的乾涉條紋為止。如乾涉條紋很密而調整平晶位置又不能使乾涉條紋的間距加寬,則說明被測表麵或平晶上有微塵或其他雜物,應清洗。
光在平晶表麵反射和被測表麵反射回來的光線形成乾涉現象。由於被測表麵平麵度的影響,乾涉光線的光程差不同,因此形成乾涉條紋。通過測量乾涉條紋的彎曲量並計算可得被測樣品的平麵度。
是利用光線的乾涉原理,在波的傳播過程中,介質中質點的振動雖頻率相同,但步調不一致,兩個質點的振動步調一致,為同相點;介質中各質點同時參與兩個振源引起的振動。
質點的振動為這兩個振動的矢量和,距離差為波長的整數倍時,兩波源在P點引起的振動的步調一致,為同相振動,疊加結果是兩數值之和,即振動加強,是強點;疊加結果是兩數值之差,即振動減弱,是弱點;由此看來,強點與弱點隻與位置有關,不隨時間變化。正因為不隨時間變化,才被觀察到,才能形成乾涉圖樣。